सेमीकंडक्टर, नैनो टेक्नोलॉजी, कार्बन फाइबर और अन्य क्षेत्रों में उपयोग किए जाने वाले वैक्यूम, नियंत्रणीय वातावरण और उच्च तापमान के साथ एक प्रायोगिक वातावरण प्रदान करें।
यह सीवीडी विकास प्रणाली सीवीडी प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त है, जैसे कि सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग, सिरेमिक सब्सट्रेट कंडक्टिविटी टेस्टिंग, जेडएनओ नैनोस्ट्रक्चर की नियंत्रित वृद्धि, और एमएलसीसी वातावरण सिंटरिंग प्रयोग।
1. भट्टी पॉलीक्रिस्टलाइन मुलाइट फाइबर वैक्यूम सोखना से बनी है, तापमान क्षेत्र एक समान है और ऊर्जा की बचत 50% से अधिक है।
2. स्व-विकसित वायु मोड़ और गर्मी इन्सुलेशन तकनीक बॉक्स में प्रत्येक घटक के सेवा जीवन और निरंतर तापमान प्रभाव को सुनिश्चित करती है।
3. जब बिजली की भट्टी चालू होती है, तो एग्जॉस्ट फैन उसी समय अपने आप चलेगा। परीक्षण के बाद, निकास पंखा तब तक चलता रहेगा जब तक कि भट्ठी का तापमान 60 ° C से कम न हो जाए, और निकास पंखा अपने आप बंद हो जाएगा, जो प्रभावी रूप से भट्ठी की सतह की रक्षा करता है।
4. उपयोग की सुरक्षा सुनिश्चित करने के लिए भट्टी का दरवाजा स्वचालित बिजली बंद, अधिक तापमान संरक्षण समारोह और रिसाव संरक्षण समारोह के साथ खोला जाता है।
5. सर्किट निरंतर हीटिंग आउटपुट मोड, डुअल-सर्किट बिजली की आपूर्ति को अपनाता है, और मजबूत और कमजोर करंट की अलग-अलग वायरिंग से सिस्टम की स्थिरता में सुधार होता है।
6. हीटिंग मॉड्यूल आउटपुट पावर को समायोजित करने के लिए डीसी सिग्नल को गोद लेता है, जो नियंत्रण सिग्नल में प्रेरित बिजली के हस्तक्षेप से बचाता है।
7. लो-वोल्टेज मेटल बटन का उपयोग ऑपरेशन बटन के लिए किया जाता है, स्टेटस इंडिकेटर लाइट्स, सुरक्षित और सहज संचालन के साथ।
8. ऊपरी और निचले भट्ठी निकाय विमानन प्लग से जुड़े हुए हैं, जो सुरक्षित, विश्वसनीय और कनेक्ट करने में सुविधाजनक हैं।
9. गैस सर्किट असेंबली खाद्य ग्रेड 316 स्टेनलेस स्टील से बनी है, जिसमें संक्षारण प्रतिरोध, वायुमंडलीय संक्षारण प्रतिरोध और उच्च तापमान प्रतिरोध है, और यह गैर-चुंबकीय है।
10. डिजिटल फ्लो डिस्प्ले इंस्ट्रूमेंट को अपनाएं, मास फ्लो कंट्रोलर के साथ सहयोग करें, डेटा और कंट्रोल फ्लो इकट्ठा करें। इसमें अच्छी पुनरावृत्ति, तेज प्रतिक्रिया गति, स्थिरता और विश्वसनीयता की विशेषताएं हैं। (गैस मास फ्लो कंट्रोल सिस्टम)
11. स्वत: नियंत्रण और मैन्युअल नियंत्रण स्विचिंग फ़ंक्शन, स्वचालित नियंत्रण मोड सेट मान के माध्यम से वैक्यूम पंप को स्वचालित रूप से खोल / बंद कर सकता है, ताकि कंटेनर को एक निश्चित वैक्यूम दबाव सीमा के भीतर रखा जा सके। मैनुअल कंट्रोल मोड उपयोगकर्ता को वैक्यूम पंप ऑन / ऑफ बटन के माध्यम से वैक्यूम पंप को सीधे संचालित करने के लिए उपयोग करता है। विभिन्न प्रयोगों की जरूरतों को पूरा करने के लिए। (मध्यम निर्वात नियंत्रण प्रणाली)
12. सोलनॉइड वाल्व धीमी गति से शुरू होने वाली तकनीक वैक्यूम पंप चालू होने के 10 सेकंड बाद सोलनॉइड वाल्व को खोलती है, ताकि भट्ठी की ट्यूब में सिस्टम का दबाव सही रहे, और यह भी सुनिश्चित करता है कि निकास गैस भट्ठी में वापस नहीं आएगी प्रयोगात्मक प्रभाव (मध्यम निर्वात नियंत्रण प्रणाली) को प्रभावित करने के लिए ट्यूब प्रणाली।
मॉडल | CVD-LTF12P50 | CVD-LTF12P60 | CVD-LTF12P80 | CVD-LTF12P100 |
CVD-LTF12T50 | CVD-LTF12T60 | CVD-LTF12T80 | CVD-LTF12T100 | |
CVD-LTF12P50S | CVD-LTF12P60S | CVD-LTF12P80S | CVD-LTF12P100S | |
CVD-LTF12T50S | CVD-LTF12T60S | CVD-LTF12T80S | CVD-LTF12T100S | |
तापमान रेंज आपरेट करना | 300-1200°C | |||
तापमान संकल्प | 1°C | |||
तापमान सटीकता | ±1°C | |||
तापन दर | 0-20°C/min | |||
ताप क्षेत्र की लंबाई | 420mm | |||
निरंतर तापमान क्षेत्र की लंबाई | एकल तापमान क्षेत्र: 210 मिमी; डबल तापमान क्षेत्र: 280 मिमी | |||
अधिकतम वैक्यूम | -0.1MP3 | |||
खाली भट्टी गर्म करने का समय | ≤15min | |||
भट्ठी ट्यूब को कॉन्फ़िगर करते समय ताप दर | नीचे 500°C≤5°C/मिनट; 500-800≤ 10°C/मिनट; 800-1000≤5°C/मिनट; 1000-1200≤2t°C/मिनट | |||
बाहरी | कोल्ड रोल्ड स्टील शीट - सतह रासायनिक प्रतिरोधी कोटिंग | |||
फर्नेस बॉडी | पॉलीक्रिस्टलाइन मुलाइट फाइबर | |||
भट्ठी का आकार | बाहर: φ240-550 मिमी; आंतरिक: φ120 * 420 मिमी | |||
फर्नेस ट्यूब | क्वार्ट्ज ट्यूब | |||
फर्नेस ट्यूब आकार | φ50/43*1000 | φ 60/53*1000 | φ80/72*1000 | φ 100/92*1000 |
हीटर | निकल-क्रोमियम-एल्यूमीनियम मिश्र धातु के तार OCr27A17MO2 | |||
गर्म शक्ति | एकल तापमान क्षेत्र: 3KW: डबल तापमान क्षेत्र: 3.2KW | |||
थर्मल इन्सुलेशन परत | डबल-लेयर मजबूर एयर डायवर्जन | |||
खुला रास्ता | क्लैमशेल बैक फ्लिप (लगभग 100 डिग्री) | |||
नियंत्रक | पी: आयातित कार्यक्रम तापमान नियंत्रण डिजिटल प्रदर्शन; टी: 7-इंच कलर टच स्क्रीन प्रोग्राम तापमान नियंत्रण | |||
नियंत्रण रखने का तरीका | माइक्रो कंप्यूटर पीआईडी नियंत्रण / एस-टाइप दोहरे तापमान क्षेत्र एकल तापमान नियंत्रण का उपयोग करना | |||
सेट प्रकार | पी: कार्रवाई के लिए पांच बटन स्पर्श करें, डिजिटल डिस्प्ले सेटिंग; टी: फिंगर टच और सेट करने के लिए टैप करें | |||
प्रदर्शन विधि | पी: डबल-लाइन एलईडी डिजिटल डिस्प्ले; टी: रंग एलसीडी डिस्प्ले | |||
समय | 0-999.9h | |||
समारोह चलाएं | निश्चित मूल्य संचालन। कार्यक्रम संचालन | |||
प्रोग्राम मोड | पी: कार्यक्रम चल रहा है, 4 घटता है, कुल 40 कदम; T: अधिकतम 50 चरण, संग्रहीत प्रोग्राम को कॉल किया जा सकता है | |||
सेंसर | K थर्मोकपल टाइप करें | |||
सहायक समारोह | पी: सुधार समारोह; टी: सुधार समारोह, रीयल-टाइम वक्र रिकॉर्डिंग, यू डिस्क डेटा निर्यात | |||
सुरक्षा उपकरण | ओवरकुरेंट रिसाव संरक्षण स्विच | |||
वायु पथों की संख्या | 3 चैनल (विशिष्ट आवश्यकताओं के अनुसार एयर चैनलों की संख्या का चयन किया जा सकता है) | |||
प्रवाह सीमा | 0-0500cccm (मानक मिली/मिनट, वैकल्पिक) नाइट्रोजन मानक | |||
शुद्धता | ±1%F.S | |||
प्रतिक्रिया समय | ≤4s | |||
ऑपरेटिंग तापमान (प्रवाह मीटर) | 5-45°C | |||
काम का दबाव | इनलेट दबाव 0.05-0.3 एमपीए (गेज दबाव) | |||
सिस्टम कनेक्शन | KF त्वरित कनेक्शन धौंकनी, उच्च वैक्यूम मैनुअल फ्लैपर वाल्व और डिजिटल डिस्प्ले वैक्यूम मापने के उपकरण को अपनाएं | |||
सिस्टम वैक्यूम रेंज | 10-100Pa | |||
वैक्यूम पंप | दो-चरण यांत्रिक पंप की सैद्धांतिक अंतिम वैक्यूम डिग्री 3 × 10-1Pa है, पंपिंग दर 4L / S है, एयर आउटलेट एक तेल फिल्टर से सुसज्जित है, रेटेड वोल्टेज 200V है, और शक्ति 0.55Kw है | |||
सीवीडी सिस्टम कॉन्फ़िगरेशन | 1200 डिग्री ओपन वैक्यूम ट्यूब फर्नेस (वैकल्पिक एकल तापमान क्षेत्र, डबल तापमान क्षेत्र) मल्टी-चैनल मास फ्लो कंट्रोल सिस्टम ट्विस्टेड वैक्यूम सिस्टम | |||
भट्ठी के शरीर के आयाम | 980mm*400mm*600mm | |||
सिस्टम आयाम | 770mm*580mm*778mm | |||
कुल सिस्टम वजन | 210kg | |||
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